Subvention

Programme d’accélération de la nanofabrication II

Ce projet fournira des services spécialisés de nanofabrication à des PME clientes qualifiées, notamment : photolithographie sans masque, lithographie par faisceau d’électrons à 100 kV, liaison par fil photonique et une gamme de procédés plasma pour le dépôt de couches minces et la gravure, dans des salles blanches de laboratoire.